硅片是太陽(yáng)能電池的載體。硅片的好壞直接決定了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。因此，有必要對(duì)來(lái)料的硅片進(jìn)行檢查。該工藝主要用于硅片部分技術(shù)參數(shù)的在線測(cè)量。這些參數(shù)主要包括硅片表面不平整度、少數(shù)載流子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋。本組設(shè)備分為自動(dòng)上下料、硅片傳輸、系統(tǒng)集成部分和檢測(cè)模塊四大模塊。其中，光伏硅片檢測(cè)儀檢測(cè)硅片表面的不平整度，同時(shí)檢測(cè)硅片的尺寸和對(duì)角線等外觀參數(shù)；微裂紋檢測(cè)模塊用于檢測(cè)硅片內(nèi)部的微裂紋；還有兩個(gè)測(cè)試模塊，一個(gè)在線測(cè)試模塊主要用于測(cè)試硅片體電阻率和硅片類型，另一個(gè)模塊用于檢測(cè)硅片的少數(shù)壽命。在檢測(cè)少數(shù)載流子壽命和電阻率之前，需要檢測(cè)硅片的對(duì)角線和微裂紋，并自動(dòng)去除損壞的硅片。硅片檢測(cè)設(shè)備可以自動(dòng)上下料晶片，可以將不合格產(chǎn)品放置在固定位置，從而提高檢測(cè)精度和效率。

單晶硅絨面革是利用硅的各向異性腐蝕，每平方厘米硅表面形成數(shù)百萬(wàn)個(gè)四面體金字塔或金字塔結(jié)構(gòu)而制備的。由于入射光在表面多次反射和折射，增加了對(duì)光的吸收，提高了電池的短路電流和轉(zhuǎn)換效率。硅各向異性蝕刻液通常使用熱堿溶液，可用的堿包括氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰和乙二胺。大多采用廉價(jià)的1%左右的稀氫氧化鈉溶液制備絨面硅，腐蝕溫度70-85℃。為了得到均勻的麂皮，還應(yīng)在溶液中加入乙醇、異丙醇等醇類作為絡(luò)合劑，加速硅的腐蝕。在準(zhǔn)備絨面革之前，必須先在表面蝕刻硅片，用堿性或酸性蝕刻液蝕刻約20-25μm。麂皮被腐蝕后，進(jìn)行一般的化學(xué)清洗。已經(jīng)表面處理過(guò)的硅片不要長(zhǎng)時(shí)間存放在水中，防止污染，應(yīng)盡快擴(kuò)散成型。